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產品詳情
  • 產品名稱:美國英??礗C6高性能膜厚控制儀

  • 產品型號:IC6-210100
  • 產品廠商:INFICON
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實現沉積過程的極大價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統,提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質和功能,賦予您的過程超卓的可重復性。
詳情介紹:

IC6 薄膜沉積控制器——變的是超卓的表現

功能豐富的 IC6 提供上佳測量精度


IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上,增添了更多獨特的功能,可幫助您實現沉積過程的有利價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統,提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量,速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質和功能,賦予您的過程超卓的可重復性。

功能

  • INFICON ModeLock 技術確保獲得極高、極穩定的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
  • Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
  • 支持不少六個來源同時共鍍膜
  • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
  • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
  • USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
  • 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個邏輯語句)
  • 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
  • 可容納不少 50 個過程,每個過程 200 層,這些過程關聯到一起,總共可容納 10,000 層。
  • 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
  • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
  • 可選以太網通信
  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • 優異光學鍍膜

杭公網安備 33010502004916號

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