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產品詳情
  • 產品名稱:德國英??礥L1000 fab干式氦質譜檢漏儀

  • 產品型號:550-100A
  • 產品廠商:INFICON
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
UL1000 FAB 移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借上佳環境系統優先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,UL1000 FAB 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。
詳情介紹:

干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab


干式氦氣檢漏儀 UL5000 


ULTRATEST? 傳感器技術

穩定性和靈敏度的新疆界,檢漏低達 10E-12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借上佳環境系統優先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。

通過結合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的上佳真空結構,UL1000 Fab 提供的前所未見的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。磚利軟件 I-CAL(智能泄漏率計算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱,因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。

使用額外的 TC1000 測試盒配件,UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精準的測試,如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管(根據 MIL-STD 883,方法 1014)。


功能

  • 15 級的寬測量范圍
  • 較短的抽氣和響應時間
  • 移動式全金屬外殼,增加了便利性,具有一律可操作性
  • I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供極快的泄漏響應時間
  • 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的測試結果
  • 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計,提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
  • 旋轉式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
  • 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
  • 自動吹掃循環可確保清理并隨時可進行測試
  • 通過電子郵件進行軟件更新
  • 含兩個燈絲離子源(3 年質保)的耐用質譜系統確保了較長的運行時間和較低的維護成本
  • 內部校準用的內置測試漏孔確保了精準的測試結果

典型應用

  • 對半導體加工工具執行維護作業,無論是否具有自有泵支持
  • 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用
  • 在現有工具中安裝前對部件執行檢漏
  • 工藝氣體系統的檢查和安裝
  • 內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動測試

杭公網安備 33010502004916號

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