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產品詳情
簡單介紹:
INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關鍵過程環境中進行實時檢漏和終點檢測。許多過程對泄漏都很敏感,或要求進行終點檢測。Quantus LP100 是一種氣體分析儀,專門用于實時應對敏感過程環境中的細微變化,以*大限度地減少報廢,提高產出。
詳情介紹:
Quantus LP100 氣體分析儀
實時終點檢測和檢漏
INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關鍵過程環境中進行實時檢漏和終點檢測。許多過程對泄漏都很敏感,或要求進行終點檢測。Quantus LP100 是一種氣體分析儀,專門用于實時應對敏感過程環境中的細微變化,以*大限度地減少報廢,提高產出。
功能
- 方便的現場可更換等離子單元
- 使用標準 KF25 連接方便地安裝
- 更低的維護成本
- 低至 ppm 級的出色檢測下限
- 工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr
- 長期可靠性:無需泵
- 低擁有成本
- 快速的 10 Hz 采樣頻率
- 精致小巧(高 x 寬 x 長)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
- 有經驗的現場培訓 INFICON 工程師提供支持