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英??禉z漏知識小課堂——檢漏方法大盤點,孰優孰劣一較高低
2017-11-01 INFICON英???/a>
工業中常見的泄漏檢測方法有
? 水檢測試法
? 壓降/壓差測試法
? 氫氣測試法
? 氦氣泄漏測試
水檢測試法:
該方法是將充滿氣的部件放入水中,看氣泡出來。
在泄漏0.06sccm下,每秒在理想的情況下能夠產生一個泡?,F實當中,氣泡不能夠很簡單的離開元件表面,所以這種檢漏方法一般只能到達0.6sccm.限制了該方法的工業應用。
壓降/壓差測試法:
工業中目前普遍采用的是壓力衰減模式,測試工件內充入規定的測試壓力的空氣或者氮氣,經過一段時間的穩定,測試壓力的下降,根據產品的容積計算出泄漏流量,計算公式如下:
壓力泄漏測試法,有以下因素干擾:
√ 溫度問題
√ 不適用于柔性測試樣本
常壓腔氦或氫累積泄漏檢測法:
方法是在非真空狀態下通過簡單累積室進行的。與空氣測試不同,INFICON 累積法的測試結果不受溫度或濕度的影響,產生極其可靠的測試結果,具有很高的可重復性。
√ 常壓下的檢漏技術
√ 簡易、低成本累積腔體
√ 檢漏精度到達10-5mbar.l/s
真空箱氦泄漏檢測法:
產品工件充入對應的檢測壓力,外部腔體抽空,泄漏出來的氦氣被檢漏儀抓取,檢測出泄漏量。
氦或氫吸槍泄漏檢測法:
使用示蹤氣體的方法:吸槍法
? 總是由內至外
? 遠距離高速度的高吸氣氣體流量
? 適用于定位漏率點
? 或已知道漏率大概位置
各種方法檢測精度比較